芯片电子无尘车间设计

电子光学净化车间一般包括：

1、洁净生产区；

2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室；

3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)；

4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)。